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2026

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光学轮廓测量在冶金高温热风阀平面度检测中的应用

冶金高温热风阀（Metallurgical high-temperature hot air valve）是高炉热风循环系统关键密封设备，其密封面平面度（seal...

05

2026

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09

芯片 刻蚀形貌 (Etching Morphology)表...

半导体精密微加工（Precision Micro Machining）干法刻蚀（Dry Etching）制程中，芯片刻蚀形貌（Etching Morphology...

04

2026

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09

半导体领域激光共聚焦拼接测量失真问题及替代方案

激光共聚焦显微镜（Laser Confocal Microscope, LCM）高倍物镜单帧视场（Field of View, FOV）狭小，半导体大尺寸晶圆、封...

04

2026

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09

冶金高温烟气/热风阀密封面平面度的光学轮廓测量研究

冶金热风阀（Metallurgical hot air valve）是高炉高温烟气循环系统的核心密封构件，其密封面平面度（sealing surface flat...

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